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表面檢查燈

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光源

表面檢查燈


表面檢查燈


目前 LCD 液晶顯示模組及 Color Filter 與 PLED / OLED 等業界皆屬於在 ITO 玻璃上製造集積度高 / 超微細加工的先端技術製品; 對於玻璃表面加工品質與製品良率的檢查難度亦相對較高,故在操作容易前提下依據客戶不同的檢查需求(目視看出灌入液晶之品質、彩色濾光片塗佈品質檢查)而產生了下列不同的檢查用燈具。


原理說明


在常光下人眼睛對於黃綠光範圍的光線最敏感,太陽光譜最強的光線波長便是 560nm( 2.2eV)。因此戴上黃綠光 的眼鏡片時物體的清晰度(對比)最明顯。

 

試列舉幾種常見高亮度而較不傷眼的 LCD、濾光片、偏光板、晶圓、半導體表面檢查燈。

 

 

●鈉燈

 

應用: 上述製品類之目視檢查。

 

原理: 利用 589nm 黃光波段對表面間隔的高穿透力及眼睛對黃光的高感度,以透射與特殊角度反射來檢查表面瑕疵。

 

特色: Newton Ring 牛頓環現象(光干涉)--薄膜厚度是否均勻或有間距變化、刮痕或灰塵。

 

 

●綠燈

 

應用: 上述製品類之目視檢查。

原理: 利用檢查者( 人類眼球構造)對於 546~578nm 綠光波

綠燈 段間的高顯度,以透射與特殊角度反射來檢查。特 : 灌入液晶之品質、表面之凸起、刮痕或灰塵。