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功能及特性
高亮、高均勻性照明系統是基於DMD的LDI光學系統的重要元件，其是採用紫外LED作為光源的照明系統。
紫外LED作為高亮度、長壽命發光器件，無論是在經濟性還是環保性上相對鐳射或汞燈都具有較強的優勢，但是其單顆功率小，發光角度大等特點，也是其應用於高亮度、高均勻性照明系統的一項難點。
將其在反射式、透射式接近接觸式曝光機（Mask Aligner）的光學系統的設計經驗應用到了該種照明系統的設計中，已研發出了針對0.95吋DMD晶元的大數值孔徑、高亮度、高均勻性照明光源。
解決方案
