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產品
產品名稱
微塵影像分析系統-加藤光研微粒子可視化
產品描述
透過特殊波長雷射(532nm)以及高效能光學鏡頭，搭配原廠開發之軟體達成以影像監控實際動態產生之微塵粒子。
應用範圍
1、產塵點判定/監控
2、設備PM後確認潔淨度
3、Minienvironment監控(如Chamber/Wafer LUL)
4、HEPA檢漏
5、氣流方向判定(是否正壓)
6、靜電聚集點判定/監控
7、人員產塵監控
8、無塵環境判定/Double check
9、貨品堆放區監控
產品
產品名稱
靜電可視化
產品描述
■ 業界唯一視覺化紀錄靜電放電
■ 以放電之電磁波偵測原理，進行靜電可視化顯示處理
■ 螢幕顯示放電電壓推定值
■ 螢幕顯示放電位置
■ 數個位置同時放電，皆可記錄位置