化學濾網

光學檢查

AOI光學檢查

相機鏡頭光源畫像處理軟體相關零組件

目視光學檢查

光學量測儀器

Aitec UV照度計 KANAUE手持式光譜儀

光源燈泡

鹵素加熱燈管

鹵素燈泡 RTP燈泡 EPI燈泡直管加燈反射杯燈異型彎管燈

氙燈

汞燈

短弧汞燈長弧汞燈

氘燈

鈉燈

低壓鈉燈高壓鈉燈

複金屬燈

閃頻氙燈

無極燈

校正光學標準燈

太陽能模擬燈

光學鏡組

反光碗橢圓鏡冷光UV反射鏡 UV增透鍍膜鏡曲面UV反射鏡 UV cut & IR cut 濾光片

172nm準分子燈

雷射燈管

黃光製程LED燈管

254nm殺菌燈

紅外線加熱燈管

脆性材料

研磨砂輪

玻璃切割刀輪

雙面研磨鑄鐵盤

雙面研磨遊心齒輪

真空陶瓷吸盤

精密陶瓷

藍寶石基板

氮化鋁基板

石英材料

金剛石金屬/樹脂結合劑系列

精密切割刀片磨刀石

特殊同軸線/線束

晶圓背面保護膜

化學材料

特氣

化學濾網

化學液體洩露偵測

化學氣體洩漏偵測

客製化化學材料

研磨拋光液

靜電與粉塵處理

靜電可視化

粉塵可視化

粉塵計數器

靜電集塵器(EPF)

靜電消除器

針尖放電式靜電消除器 X-Ray式靜電消除器

靜電量測器

空氣除霾機

矽晶圓與石英

再生矽晶圓

石英

石英棒石英管石英板材石英坩堝半導體石英石英穿透率檢測

廠務節電節能區

智慧螺絲

ESG節能Pump

VSP壓降保護裝置

ESG節電電流增益器

AOI閃頻電源控制器

半導體相關檢查＆量測設備

晶圓檢測白光共軛焦檢查設備

半導體Thermal Air Wafer ID Reader

半導體加熱套

化學濾網

AMC檢測及濾網分析能力

檢測

* 無塵研發室設備
* 濾網測試風洞箱段
* 有機污染物偵測：TD-GC-MS
* 無機污染物偵測：IC
* 除酸濾網測試：HzS/SOz analyzer
* 除鹼濾網測試：NHs analyzer

模組化V型化學濾網

•框體與濾材分離式設計
•框體可回收重複使用
• 更換容易
•廢棄物體積小，易處理
• 可吸附氣體：MA/MB/MC

模組化平板型化學濾網

•框體與濾材分離式設計
•金屬框體可回收重複使用
• 更換容易
• 廢棄物體積小，易處理
• 可吸附氣體：MA/MB/MC/MD

專利磁吸式去氣密框架

* 磁吸式框體設計
* 濾網氣密性強化
* 安裝容易
* 框體與濾材分離式設計
* 金屬框體可回收重複使用

可撓無框式化學濾網

•超低壓損/超低釋塵
• 高去除效率
• 無框式設計
•廢棄物體積小，易處理
• 可吸附氣體：MA/MB/MC

ChemFFU模組化化學濾網風扇系統

* 一體成型式設計（化學濾網+FFU+HEPA）
* 節能省電（W144W/h@18.5CMM）
* 高靜壓（TSP 235/ESP 78 Pa）
* 低壓損模組化化學濾網（<15 Pa/layer）

移動式空氣淨化機系統

* 可移動式設計
* 區域洩漏緊急使用
* 輔助機台保養異味去除
* 箱體內建化學濾網框體
* 可吸附氣體：MA/MB/MC