半導體相關檢查＆量測設備

光學檢查

AOI光學檢查

相機鏡頭光源畫像處理軟體相關零組件

目視光學檢查

光學量測儀器

Aitec UV照度計 KANAUE手持式光譜儀

光源燈泡

鹵素加熱燈管

鹵素燈泡 RTP燈泡 EPI燈泡直管加燈反射杯燈異型彎管燈

氙燈

汞燈

短弧汞燈長弧汞燈

氘燈

鈉燈

低壓鈉燈高壓鈉燈

複金屬燈

閃頻氙燈

無極燈

校正光學標準燈

太陽能模擬燈

光學鏡組

反光碗橢圓鏡冷光UV反射鏡 UV增透鍍膜鏡曲面UV反射鏡 UV cut & IR cut 濾光片

172nm準分子燈

雷射燈管

黃光製程LED燈管

254nm殺菌燈

紅外線加熱燈管

脆性材料

研磨砂輪

玻璃切割刀輪

雙面研磨鑄鐵盤

雙面研磨遊心齒輪

真空陶瓷吸盤

精密陶瓷

藍寶石基板

氮化鋁基板

石英材料

金剛石金屬/樹脂結合劑系列

精密切割刀片磨刀石

特殊同軸線/線束

晶圓背面保護膜

化學材料

特氣

化學濾網

化學液體洩露偵測

化學氣體洩漏偵測

客製化化學材料

研磨拋光液

靜電與粉塵處理

靜電可視化

粉塵可視化

粉塵計數器

靜電集塵器(EPF)

靜電消除器

針尖放電式靜電消除器 X-Ray式靜電消除器

靜電量測器

空氣除霾機

矽晶圓與石英

再生矽晶圓

石英

石英棒石英管石英板材石英坩堝半導體石英石英穿透率檢測

廠務節電節能區

智慧螺絲

ESG節能Pump

VSP壓降保護裝置

ESG節電電流增益器

AOI閃頻電源控制器

半導體相關檢查＆量測設備

晶圓檢測白光共軛焦檢查設備

半導體Thermal Air Wafer ID Reader

半導體加熱套

半導體相關檢查＆量測設備

套刻精度量測設備DRAGONBLOOD系列

檢測

DRAGONBLOOD-100
DRAGONBLOOD-600
* 次奈米級套刻測量精度，全面覆蓋多種工藝需求多樣化工作模式，保障工藝波動下的魯棒性
* 預防性診斷和自動校準，保障設備穩定運行
* Recipe自動優化，及數據集中管理，節約人力成本
* 多維度測量結果評價和展示， 快速聚焦工藝問題

無圖形晶圓缺陷檢測設備SPRUCE系列

檢測

SPRUCE-600 SPRUCE-800 SPRUCE-900
* 支持SECS/GEM SEMI標準，完美兼容工廠自動化系統
* 提供無與倫比的可靠性
* 兼顧多種工藝節點的缺陷檢測尺度
* 全面覆蓋IC廠，晶圓廠及半導體設備廠的晶圓缺陷檢測設備需求
* 應用範圍2~12寸包含3/5族半導體

圖形晶圓缺陷檢測設備BIRCH/FIR系列

檢測

BIRCH-60/100 FIR-80/100
* 次微米級晶圓正面缺陷檢測設備
* 靈活的模塊化配置，節省成本和空間
* 可搭配深度學習算法實現高效率、高準確率ADC服務
* 多維度測量結果評價和展示， 快速聚焦工藝問題

圖形晶圓缺陷檢測設備SWEETGUM系列

檢測

SWEETGUM-100 SWEETGUM-200
* 次微米級晶圓正背邊全維度三合一缺陷檢測設備
* 靈活的模塊化配置，節省成本和空間
* 支持三模組同時在線高速數據采集
* 可搭配深度學習算法實現高效率、高準確率ADC服務
* 多維度測量結果評價和展示，快速聚焦工藝問題

三維形貌量測設備CYPRESSIFM系列

檢測

CYPRESSIFM-T910
CYPRESSIFM-U950
CYPRESSIFM-U960

* 0.1nm精度三維表面形貌測量
* 集成多種測量系統，實現多種工藝 過程監控
* 自動化特徵位置搜索定位，自定義 形貌測量結果輸出上報
* 多維度量測結果評價與展示，直觀展示工藝問題
* 配置批量導入以及數據自動上報，節約人力成本

介質薄膜膜厚量測設備LATIFILM系列

檢測

LATIFILM-900 LATIFILM-1000
* 高精度、高重覆性膜厚測量，全面覆蓋多種工藝需求，寬光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射式膜厚儀、應力等多種非接觸光學探頭可選，滿足各種量測場景需求
* 全自動量測任務下發及結果上報，節約人力成本
* 多維度量測結果評價與展示，直觀展示工藝問題
* 配置離線分析和批量導入，節約機台使用時間