多孔性陶瓷真空吸盤
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多孔性陶瓷真空吸盤
功能及特性
1、除靜電，靜電擴散性佳，抗靜電材料最佳化
2、可部分區域吸附(孔徑有2um,5um 及10um，能夠不破真空並應付各種尺寸加工物件)
3、吸附力分佈均勻，不會造成工件平面凹陷
4、適用於高平面度要求
5、如薄膜、薄物加工材料
6、可對應小於50um以下的工件
7、半導體、LED 的研磨及切割平台等應用
8、客製化平台設計
1、氣浮載台(可減少被加工物的汙染與刮傷)
2、氣浮與吸附式共用滾筒(吸捲薄材料，不留痕跡)
3、客製化(500*500mm尺寸內平台，不需拼接)
• 平面度：<5μm
• 耐磨耗：不易損耗，使用壽命長
• 圓形尺寸：4"~12"
• 方形尺寸：50~500mm
半導體、LED 的研磨及切割平台等應用
解決方案
