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微塵影像分析系統-加藤光研微粒子可視化

微塵影像分析系統-加藤光研微粒子可視化

微塵影像分析系統-加藤光研微粒子可視化

    功能及特性

使用特殊波長雷射使Particle無所遁形,
再以高效能鏡頭捕捉Particle,
最後用軟體整合並且分析所取得之影像及數據。
 
●產品功能
1、24HR監控重要製程段產塵狀況
2、監控HEPA洩漏/氣流方向
3、靜電生成區域監控
4、五種形式供不同等級區域使用
 
●產品優勢
1、有效抓出particle問題點,提高良率
2、可視化提供畫面減少處理時間
3、安裝至設備內部可即時監控產品狀況
 
項目
產品規格
產品型號/
對應環境
型號
可視粒徑
適用環境
KNU-4100-S
0.1um
Class1~100
KNU-2300-M
0.3um
Class100~1000

 

1、產塵點判定/監控
2、設備PM後確認潔淨度
3、Minienvironment監控(如Chamber/Wafer LUL)
4、HEPA檢漏
5、氣流方向判定(是否正壓)
6、靜電聚集點判定/監控
7、人員產塵監控
8、無塵環境判定/Double check
9、貨品堆放區監控

解決方案