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微塵影像分析系統

微塵影像分析系統

微塵影像分析系統

    功能及特性

使用特殊波長雷射使Particle無所遁形,
再以高效能鏡頭捕捉Particle,
最後用軟體整合並且分析所取得之影像及數據。
 
項目
產品規格
產品型號/
對應環境
型號
可視粒徑
適用環境
KNU-4100-S
0.1um
Class1~100
KNU-2300-M
0.3um
Class100~1000

 

1、產塵點判定/監控
2、設備PM後確認潔淨度
3、Minienvironment監控(如Chamber/Wafer LUL)
4、HEPA檢漏
5、氣流方向判定(是否正壓)
6、靜電聚集點判定/監控
7、人員產塵監控
8、無塵環境判定/Double check
9、貨品堆放區監控

解決方案