VSI系列15M X-Ray Ionizer (High Power)
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VSI系列15M X-Ray Ionizer (High Power)
功能及特性
1、針對玻璃正中間較遠距離的表面靜電，例：Stepper/Coater、PI Coater / Rubbing
2、需求快速消除靜電的製程，例：PI Rubbing
3、AMOLED & LTPS 製程專用
4、靜電消散時間：1m 小於1 秒
1、Head 電壓：15KV
2、外觀尺寸：(Head) 109.5 x 29 x 84.5mm
(Controller) 214.5x41x131 mm
3、照射角度：150 度 ( 比傳統130 度多了20% 照射範圍)
4、重量(Head/Controller)：3.8kg/4kg
5、使用環境：溫度->0~50°C (32~122°F) 濕度->35~85% RH
6、壽命：保固 8000 小時
解決方案
