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四氟化碳 CF₄

四氟化碳 CF₄

四氟化碳 CF₄

    功能及特性

別名 : 全氟化碳、四氟甲烷、CFC 14、海龍14
危險性 : 吸入後頭痛、噁心、頭昏眼花及心血管系統的破壞,長時間接觸會導致嚴重的心臟破壞,在不通風的地方會導致窒息
外觀與特性 : 無色、無臭、不可燃
 
應用於低溫冷卻劑,用於電路板的製造,以及製造絕緣物質和半導體。
用作氣體蝕刻劑及電漿體蝕刻版。
 

解決方案